Osaka Vacuum серия TG-ML

Osaka Vacuum, TG-ML

Гибридные турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (с магнитными подшипниками). Ультранизкий уровень вибраций.

Насосы OSAKA TG-ML: ультранизкий уровень вибраций и ультрачистый вакуум для нанотехнологий!

Компания Osaka Vacuum является экспертом в области откачных систем для нанотехнологий.

Насосы серии TG-ML обладают уникальными вибрационными характеристиками:
— при стандартном монтаже уровень виброперемещений в радиальном и осевом направлении менее 1 нм
— при монтаже на опциональную виброкомпенсирующую платформу уровень виброперемещений менее 0,1 нм !!!

Современные технологические процессы и исследования в области нанотехнологий зачастую требуют не только высокой чистоты и но и применения оборудования с крайне низким уровнем вибраций. Насосы серии TG-ML созданы специально для обеспечения возможности выполнения операций в сверхчистом высоком вакууме с нанометровой точностью. Ультранизкий уровень вибраций обеспечивается специальной конструкцией насоса и программным обеспечением , управляющим движением ротора насоса.

Области применения насосов серии TG-ML:
— электронные микроскопы со сверхвысоким разрешением
— аналитические высоковакуумные комлексы
— исследования в области нанотехнологий
— EUV-литография
— производство и исследования в области микроэлектромеханических систем (MEMS)
— оборудование для контроля качества CD-дисков
— электронно-лучевая литография
— анализ поверхностей методом XPS-спектров
— трансмиссионные электронные микроскопы (TEM)